진공 건조로

OLED용 유기물, 의약품 등 진공 분위기에서 건조가 요구되는 재료의 건조 장치로 주 공정 정제 시간을 단축 할 수 있다.

Items Model Remarks
D600R D1000R D1500R
Chamber size Ø600mm X L600 Ø1000mm X L1,000 Ø1,500mm X L1,000 up to user's request
Chamber material Body SUS304, Door Al
Working vacuum middle 10E-2Torr
Pumping port NW25KF NW25KF NW40KF
Working Temp. Max. 250℃, Normal 170℃
Nomber of Shielf 2 4~6 6~10 up to user's request
Temp. control Programable Temp controller, PLC, SCR
Loding capa.(Kg) 10~15 30~50 100
consumming power 8~10kW 12~15kW 20kW
chamber vent N2 purge
Control PC or PLC up to user's request