진공 건조로
OLED용 유기물, 의약품 등 진공 분위기에서 건조가 요구되는 재료의 건조 장치로 주 공정 정제 시간을 단축 할 수 있다.
Items | Model | Remarks | ||
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D600R | D1000R | D1500R | ||
Chamber size | Ø600mm X L600 | Ø1000mm X L1,000 | Ø1,500mm X L1,000 | up to user's request |
Chamber material | Body SUS304, Door Al | |||
Working vacuum | middle 10E-2Torr | |||
Pumping port | NW25KF | NW25KF | NW40KF | |
Working Temp. | Max. 250℃, Normal 170℃ | |||
Nomber of Shielf | 2 | 4~6 | 6~10 | up to user's request |
Temp. control | Programable Temp controller, PLC, SCR | |||
Loding capa.(Kg) | 10~15 | 30~50 | 100 | |
consumming power | 8~10kW | 12~15kW | 20kW | |
chamber vent | N2 purge | |||
Control | PC or PLC | up to user's request |