진공 건조로
OLED용 유기물, 의약품 등 진공 분위기에서 건조가 요구되는 재료의 건조 장치로 주 공정 정제 시간을 단축 할 수 있다.

| Items | Model | Remarks | ||
|---|---|---|---|---|
| D600R | D1000R | D1500R | ||
| Chamber size | Ø600mm X L600 | Ø1000mm X L1,000 | Ø1,500mm X L1,000 | up to user's request |
| Chamber material | Body SUS304, Door Al | |||
| Working vacuum | middle 10E-2Torr | |||
| Pumping port | NW25KF | NW25KF | NW40KF | |
| Working Temp. | Max. 250℃, Normal 170℃ | |||
| Nomber of Shielf | 2 | 4~6 | 6~10 | up to user's request |
| Temp. control | Programable Temp controller, PLC, SCR | |||
| Loding capa.(Kg) | 10~15 | 30~50 | 100 | |
| consumming power | 8~10kW | 12~15kW | 20kW | |
| chamber vent | N2 purge | |||
| Control | PC or PLC | up to user's request | ||


제품소개