유기물 열안정성 평가 장비

유기물 열안정 평가 장비란 ?

OLED용 유기물의 경우 오랜시간(2주 이상) 증착공정에서 열적으로 분해되지 않아야 한다.
이에 대하여 유기물이 열적으로 안정한지를 평가하는 장비이다.

1개의 허브 펌핑 챔버와 4개의 프로세스 챔버, 그리고 4개의 퍼니스로 구성된다.
4개의 챔버는 각각 별도의 유기물 내구성 테스트를 진행 할 수 있고, 챔버는 각각 실시간 그래프 표현과 데이터 저장이 가능하다

Items Model Remarks
열안정성 평가 장비
Pumping(Hub) chamber 1ea
Process chamber 4ea
Furnace 4ea
Quartz Tube O.D.(mm) Ø60mm
Loding capa(g). ≤2(Normal) up to request
Heater meterial Kanthal A-1
Heating temp(℃) MAX. 600, Normal ≤ 500
Vacuum Pump TMP
Rotary Pump
/ Dry pump(Option)
Uimate pressure Low x10-7 Torr
Control Base on PC software
Utilities compressed Air(kg/cm2f) 5~7
Cooling water(ℓ/min) None

티핑장비

Items Remarks
Ampoule sealing system
Ampoule tipping port 4ea up to request
Ampoule tipping port size 1/4" & 3/8" up to request
Vacuum Pump TMP
Rotary
Uimate pressure Low x10-7 Torr
Control Manual
Utilities compressed Air(kg/cm2f) 5~7
Cooling water(ℓ/min) None